产品应用                                                                                                                  

真空 镀膜 太阳能 半导体 石油石化
煤炭冶金 制气配气 环保 各种分析仪器

技术参数

技术指标:     Dmass质量流量控制器Dmass质量流量计
量程范围:     10SCCM-200SLM
测控范围:     控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度:     流量：±1%读数±0.2%满量程
重复精度:     ±0.2%F.S
响应时间:     ≤1S
数 字 量:     RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量:     0～5V、4～20mA
供    电:     24V/±15V可选
工作温度:     0～50℃
工作压力:     工作压差：0.03～0.5MPa 工作压降：<0.01Mpa
最大耐压:     3MPa
电气连接:     DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
温度系数:     ±0.015%F.S/℃
底座材质:     铝合金或316L不锈钢
密封材料:     氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接    头:    VCR1/4;swagelokφ6